(19)
(11) EP 1 080 339 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.03.2001  Patentblatt  2001/10

(21) Anmeldenummer: 99926478.1

(22) Anmeldetag:  29.05.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01B 5/28, G01B 7/34, G01N 27/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9903/745
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9963/299 (09.12.1999 Gazette  1999/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT

(30) Priorität: 29.05.1998 DE 19824107

(71) Anmelder: Werth Messtechnik GmbH
35394 Giessen (DE)

(72) Erfinder:
  • CHRISTOPH, Ralf
    D-35641 Schöffengrund (DE)
  • HÄRTIG, Frank
    D-35415 Pohlheim (DE)

(74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert, Dr. Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Friedrich-Ebert-Anlage 11b
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) TASTSCHNITTVERFAHREN SOWIE ANORDNUNG ZUR KENNGRÖSSENBESTIMMUNG EINER OBERFLÄCHE EINES PRÜFLINGS NACH DEM TASTSCHNITTVERFAHREN