VERFAHREN ZUR MESSUNG DER LAGE VON STRUKTUREN AUF EINER MASKENOBERFLÄCHE - Patent 1080393

(19)

(11)

EP 1 080 393 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	07.03.2001 Patentblatt 2001/10

(21)	Anmeldenummer: 99917765.2

(22)	Anmeldetag: 03.03.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: G03F 1/00, G03F 9/00, G03F 7/20

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9900/566

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 9954/785 (28.10.1999 Gazette 1999/43)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB

(30)

Priorität:

21.04.1998 DE 19817714

(71)	Anmelder: Leica Microsystems Wetzlar GmbH
	35530 Wetzlar (DE)

(72)	Erfinder:
	BLÄSING-BANGERT, Carola D-35625 Hüttenberg (DE)

(74)	Vertreter: Reichert, Werner F., Dr. et al
	Leica Microsystems International Holdings GmbH,Konzernstelle Patente + Marken,Ernst-Leitz-Strasse 17-37 35578 Wetzlar 35578 Wetzlar (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR MESSUNG DER LAGE VON STRUKTUREN AUF EINER MASKENOBERFLÄCHE