(19)

(11)

EP 1 080 486 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.03.2001  Patentblatt  2001/10 (21) Anmeldenummer: 99917978.1 (22) Anmeldetag:  14.04.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, G11B 7/26, C23C 14/50 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9902/500 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9956/306 (04.11.1999 Gazette  1999/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU NL SE (30) Priorität: 24.04.1998 DE 19818478 (71) Anmelder: Steag Hamatech GmbH Machines 75447 Sternenfels (DE)	(72) Erfinder: DENZLER, Ludwig D-75210 Keltern (DE) SPEER, Ulrich D-75239 Eisingen (DE) WEBER, Klaus D-75015 Bretten (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing. et al Wagner & Geyer,Patentanwälte,Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)