(19)

(11)

EP 1 080 504 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.03.2001  Patentblatt  2001/10 (21) Anmeldenummer: 00914040.1 (22) Anmeldetag:  24.02.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/083 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0000/511 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0052/770 (08.09.2000 Gazette  2000/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 04.03.1999 DE 19909482 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HEINZ, Rudolf D-71272 Renningen (DE) BOECKING, Friedrich D-70499 Stuttgart (DE)