(19)
(11) EP 1 081 387 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.04.2002  Patentblatt  2002/16

(43) Veröffentlichungstag A2:
07.03.2001  Patentblatt  2001/10

(21) Anmeldenummer: 00117868.0

(22) Anmeldetag:  19.08.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7F04D 19/04, F04D 17/16
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 06.09.1999 DE 19942410

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Conrad, Armin
    35735 Herborn (DE)
  • Eberl, Wolfgang
    35606 Solms (DE)

   


(54) Vakuumpumpe


(57) Die Erfindung beschreibt eine Vakuumpumpe, bestehend aus mehreren Pumpeinheiten (14, 16, 18). Mindestens eine der Pumpeinheiten besteht aus parallel geschalteten Molekularpumpstufen (16a) nach der Bauart von Gaede. Dabei kann eine solche Pumpeinheit aus mehreren Untereinheiten (16a, 16b, 16c) zusammengesetzt sein, welche aus jeweils einzelnen (16c) oder parallel geschalteten (16a, 16b) Gaedepumpstufen bestehen. Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.







Recherchenbericht