(57) Die Erfindung beschreibt eine Vakuumpumpe, bestehend aus mehreren Pumpeinheiten (14,
16, 18). Mindestens eine der Pumpeinheiten besteht aus parallel geschalteten Molekularpumpstufen
(16a) nach der Bauart von Gaede. Dabei kann eine solche Pumpeinheit aus mehreren Untereinheiten
(16a, 16b, 16c) zusammengesetzt sein, welche aus jeweils einzelnen (16c) oder parallel
geschalteten (16a, 16b) Gaedepumpstufen bestehen. Die hochvakuumseitige Pumpeinheit
(14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck
zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.
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