(19)
(11) EP 1 082 471 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.03.2001  Patentblatt  2001/11

(21) Anmeldenummer: 99927684.3

(22) Anmeldetag:  15.04.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 18/28, H05K 3/24, C23C 18/31
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9901/176
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9955/935 (04.11.1999 Gazette  1999/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE DK ES FI FR GB IE IT NL PT SE

(30) Priorität: 23.04.1998 DE 19818910

(71) Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH
10553 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • MAHLKOW, Hartmut
    D-12159 Berlin (DE)
  • BACKUS, Petra
    D-10777 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Effert, Bressel und Kollegen 
Radickestrasse 48
12489 Berlin
12489 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ÜBERZIEHEN VON OBERFLÄCHEN AUF KUPFER ODER EINER KUPFERLEGIERUNG MIT EINER ZINN- ODER ZINNLEGIERUNGSSCHICHT