(19)
(11) EP 1 084 002 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.03.2001  Patentblatt  2001/12

(21) Anmeldenummer: 99927887.2

(22) Anmeldetag:  04.06.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B08B 3/08, B08B 3/10, H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9903/893
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9962/649 (09.12.1999 Gazette  1999/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE FR GB IT LI NL

(30) Priorität: 04.06.1998 DE 19825063

(71) Anmelder: Astex GmbH
13355 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • GOTTSCHALK, Christiane
    D-13353 Berlin (DE)
  • SCHWECKENDIEK, Jürgen
    D-10967 Berlin (DE)
  • BRAMMER, Ulrich
    D-13347 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner 
Kurfürstendamm 170
10707 Berlin
10707 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANLAGE ZUM REINIGEN VON HALBLEITERELEMENTEN