(19)

(11)

EP 1 088 342 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.04.2001  Patentblatt  2001/14 (21) Anmeldenummer: 99927787.4 (22) Anmeldetag:  28.05.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/66 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9903/706 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9966/548 (23.12.1999 Gazette  1999/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 15.06.1998 DE 19826510 26.03.1999 DE 19913922 (71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH 89160 Dornstadt (DE)	(72) Erfinder: BOIN, Manuella D-89160 Tomerdingen (DE) LERCH, Wilfried D-89160 Dornstadt-Tomerdingen (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing. et al Wagner & Geyer,Patentanwälte,Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)