(19)
(11) EP 1 090 422 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.04.2001  Patentblatt  2001/15

(21) Anmeldenummer: 99939373.9

(22) Anmeldetag:  22.06.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/78, H01L 21/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9901/826
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9967/820 (29.12.1999 Gazette  1999/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR IT

(30) Priorität: 22.06.1998 DE 19827717

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HABERGER, Karl
    D-82152 Planegg (DE)
  • PLETTNER, Andreas
    D-82340 Feldafing (DE)

(74) Vertreter: Gagel, Roland, Dr. 
Patentanwalt Dr. Roland Gagel,Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR FERTIGUNG VON DÜNNEN SUBSTRATSCHICHTEN