(19)

(11)

EP 1 092 238 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.04.2001  Patentblatt  2001/16 (21) Anmeldenummer: 99915461.0 (22) Anmeldetag:  08.02.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9900/327 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9953/549 (21.10.1999 Gazette  1999/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 14.04.1998 DE 19816448 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: TIHANYI, Jenö D-85551 Kirchheim (DE) PLOSS, Reinhard D-82173 Puchheim (DE) (74) Vertreter: Schmuckermaier, Bernhard  PAe Westphal, Mussgnug & Partner,Mozartstrasse 8 80336 München 80336 München (DE)