(19)
(11) EP 1 092 974 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.11.2003  Patentblatt  2003/46

(43) Veröffentlichungstag A2:
18.04.2001  Patentblatt  2001/16

(21) Anmeldenummer: 00120316.5

(22) Anmeldetag:  15.09.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 23/223, G01T 1/29
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 07.10.1999 DE 19948382

(71) Anmelder: GEMETEC GESELLSCHAFT FUR MESSTECHNIK UND TECHNOLOGIE MBH
81379 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Huber, Anton
    83607 Holzkirchen (DE)

(74) Vertreter: Laufhütte, Dieter, Dr.-Ing. et al
Lorenz-Seidler-Gossel Widenmayerstrasse 23
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) Detektor für grosse Waferflächen


(57) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse, welche eine schnellere und genauere Erfassung der Röntgenfluoreszenzspektren einer Probe erlaubt. Im Meßaufnehmer der Vorrichtung kommen DRIFT-Detektoren zum Einsatz, bei denen entstehende Ladungsträger durch eine mittels Ringelektroden erzeugte Radialkomponente des elektrischen Feldes in Richtung einer sehr klein ausgeführten Sammelanode beschleunigbar sind. Durch die niedrige Kapazität der Sammelanode ist eine schnellere und genauere Messung der im Detektorinneren erzeugten Ladungsträger möglich. Mittels eines Arrays, bestehend aus derartigen DRIFT-Detektoren, läßt sich die Röntgenfluoreszenz einer Probe ortsaufgelöst vermessen. Aus den erhaltenen Röntgenfluoreszenzspektren lassen sich die Oberflächenkonzentrationen der verschiedenen Fremdatome in der Probe ortsaufgelöst bestimmen.






Recherchenbericht