|
(11) | EP 1 093 587 A2 |
(12) |
|
|
|
|
|||||||||||||||
(54) | VERFAHREN ZUM EINSTELLEN DER MAGNETISIERUNG DER BIASSCHICHT EINES MAGNETO-RESISTIVEN SENSORELEMENTS, DEMGEMÄSS BEARBEITETES SENSORELEMENT ODER SENSORELEMENTSYSTEM SOWIE ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETES SENSORELEMENT UND SENSORSUBSTRAT |