(19)
(11) EP 1 095 315 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2001  Patentblatt  2001/18

(21) Anmeldenummer: 99929261.8

(22) Anmeldetag:  17.06.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, B08B 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9904/210
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0003/304 (20.01.2000 Gazette  2000/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT NL

(30) Priorität: 08.07.1998 DE 19830438

(71) Anmelder:
  • Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    DE FR IT NL 
  • CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS
    D-89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    GB IE 

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Michael
    D-73432 Aalen (DE)
  • ZEHETBAUER, Marcus
    D-73447 Oberkochen (DE)
  • DIECKMANN, Nils
    D-73434 Aalen (DE)
  • SCHRIEVER, Martin
    D-73431 Aalen (DE)
  • SIELER, Christine
    D-89547 Gerstetten (DE)
  • REISINGER, Gerd
    D-73447 Oberkochen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR DEKONTAMINATION VON MIKROLITHOGRAPHIE-PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGEN