......DE....FRGB..IT....NL......IE................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01095315A120010502EP99929261.81999061720001220DeDeDe1983043819980708DE20010502200118200105022001187 7G 03F 7/20 A 7B 08B 7/00 BdeVERFAHREN ZUR DEKONTAMINATION VON MIKROLITHOGRAPHIE-PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGENenMETHOD FOR DECONTAMINATING MICROLITHOGRAPHY PROJECTION LIGHTING DEVICESfrTECHNIQUE PERMETTANT DE DECONTAMINER LES DISPOSITIFS D'ECLAIRAGE PAR PROJECTION UTILISES EN MICROLITHOGRAPHIECarl Zeiss0021717498027 P EPZeiss, Carl89518 Heidenheim (Brenz)DEDEFRITNLCARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS0031615298027 P EPZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS, CARLCARL ZEISS, CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALSZEISS, CARLD-89518 Heidenheim (Brenz)DEGBIEGERHARD, MichaelBühlstrasse 4D-73432 AalenDEZEHETBAUER, MarcusFeigengasse 2D-73447 OberkochenDEDIECKMANN, NilsSchradenberg 7D-73434 AalenDESCHRIEVER, MartinAuf der Heide 25D-73431 AalenDESIELER, ChristineBöhmerstrasse 83D-89547 GerstettenDEREISINGER, GerdRichard-Wagner-Weg 4D-73447 OberkochenDEDEFRGBIEITNLEP990421019990617DeWO000330420000120200003