(19)
(11) EP 1 095 404 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2001  Patentblatt  2001/18

(21) Anmeldenummer: 99945844.1

(22) Anmeldetag:  01.07.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/051, H01L 23/48, H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9901/973
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0003/437 (20.01.2000 Gazette  2000/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 08.07.1998 DE 19830537

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHERG, Thomas
    D-85591 Vaterstetten (DE)
  • BAUER, Josef-Georg
    D-85229 Markt Indersdorf (DE)
  • SCHULZE, Hans-Joachim
    D-85521 Ottobrunn (DE)
  • SCHWERD, Markus
    D-83607 Holzkirchen (DE)

   


(54) SCHALTUNGSANORDNUNG MIT EINEM DRUCKKONTAKT UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG