(19)

(11)

EP 1 097 025 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.05.2001  Patentblatt  2001/19 (21) Anmeldenummer: 99942730.5 (22) Anmeldetag:  01.07.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B23Q 7/14, B23Q 7/04, H01L 21/00, H05K 13/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9901/911 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0003/837 (27.01.2000 Gazette  2000/04)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 14.07.1998 DE 19831560 (71) Anmelder: Siemens Production and Logistics Systems AG 90475 Nürnberg (DE)	(72) Erfinder: JUNG, Werner D-68753 Waghäusel (DE) HAASE, Birgit D-76646 Bruchsal (DE) METZ, Daniel D-76870 Kandel (DE) DIETRICH, Stefan D-76185 Karlsruhe (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf.  Patentanwalt,Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)