(19)
(11) EP 1 097 353 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.05.2001  Patentblatt  2001/19

(21) Anmeldenummer: 99945875.5

(22) Anmeldetag:  01.07.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01D 3/08, G01D 18/00, H01L 21/66, G01L 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/019
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0004/342 (27.01.2000 Gazette  2000/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 14.07.1998 DE 19831600

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • AIGNER, Robert
    D-81675 München (DE)
  • OPPERMANN, Klaus-Günter
    D-83607 Holzkirchen (DE)
  • KAPELS, Hergen
    D-85579 Neubiberg (DE)

(74) Vertreter: Zimmermann & Partner 
Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) ANORDNUNG MIT EINER VIELZAHL VON SENSORGRUPPEN UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG IHRER INTAKTHEIT