(19)
(11) EP 1 097 404 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.05.2001  Patentblatt  2001/19

(21) Anmeldenummer: 99967978.0

(22) Anmeldetag:  21.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 13/18, G02B 13/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9910/233
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0070/407 (23.11.2000 Gazette  2000/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 14.05.1999 DE 19922209

(71) Anmelder:
  • Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    DE FR NL 
  • Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    GB IE 

(72) Erfinder:
  • SCHUSTER, Karl-Heinz
    D-89551 Königsbronn (DE)

   


(54) PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE