(19)
(11) EP 1 099 246 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.05.2001  Patentblatt  2001/20

(21) Anmeldenummer: 99945901.9

(22) Anmeldetag:  02.07.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/48, H01L 23/498
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/060
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0004/577 (27.01.2000 Gazette  2000/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 15.07.1998 DE 19831821

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GOHLKE, Silvia
    D-81543 München (DE)
  • WERSING, Wolfram
    D-81667 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KERAMISCHEN KÖRPERS MIT EINEM INTEGRIERTEN PASSIVEN ELEKTRONISCHEN BAUELEMENT, DERARTIGER KÖRPER UND VERWENDUNG DES KÖRPERS