(19)

(11)

EP 1 099 251 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.06.1999 (43) Veröffentlichungstag: 16.05.2001  Patentblatt  2001/20 (21) Anmeldenummer: 99939349.9 (22) Anmeldetag:  16.06.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9901/770 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0001/010 (06.01.2000 Gazette  2000/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IE IT (30) Priorität: 29.06.1998 DE 19828969 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: RÖHR, Thomas D-82178 Puchheim (DE) MAZURE-ESPEJO, Carlos D-85604 Zorneding (DE) DEHM, Christine D-81543 München (DE) (74) Vertreter: Ginzel, Christian et al Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)