(19)

(11)

EP 1 103 031 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.05.2001  Patentblatt  2001/22 (21) Anmeldenummer: 99945847.4 (22) Anmeldetag:  01.07.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G06K 9/00, H01L 21/314 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9901/982 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0003/345 (20.01.2000 Gazette  2000/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 09.07.1998 DE 19830832 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: WILLER, Josef D-85521 Riemerling (DE) VON BASSE, Paul-Werner D-82515 Wolfratshausen (DE) SCHEITER, Thomas D-82041 Oberhaching (DE) (74) Vertreter: Hermann, Uwe, Dipl.-Ing. et al Epping, Hermann & FischerRidlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)