(19)
(11) EP 1 103 067 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.05.2001  Patentblatt  2001/22

(21) Anmeldenummer: 99944246.0

(22) Anmeldetag:  01.07.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02, H01L 21/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9901/977
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0002/237 (13.01.2000 Gazette  2000/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 06.07.1998 DE 19830155

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • REISINGER, Hans
    D-82031 Grünwald (DE)
  • BEITEL, Gerhard
    D-80335 München (DE)
  • SCHLAMMINGER, Stephan
    CH-8038 Zürich (CH)
  • WENDT, Hermann
    D-85630 Grasbrunn (DE)
  • LANGE, Gerrit
    D-81373 München (DE)
  • HANEDER, Thomas-Peter
    D-81549 München (DE)
  • FRANOSCH, Martin
    D-81739 München (DE)
  • SCHÄFER, Herbert
    D-85635 Höhenkirchen-Siegertsbrunn (DE)

(74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. 
PatentanwälteMÜLLER & HOFFMANN,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) DRAM-SPEICHERKONDENSATOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG