(19)
(11) EP 1 105 742 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2001  Patentblatt  2001/24

(21) Anmeldenummer: 99950492.1

(22) Anmeldetag:  30.07.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01R 31/307
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/380
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0010/020 (24.02.2000 Gazette  2000/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 12.08.1998 DE 19837490

(71) Anmelder: IHP GmbH
15236 Frankfurt an der Oder (DE)

(72) Erfinder:
  • RAU, Wolf-Dieter
    D-10243 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Heitsch, Wolfgang et al
Göhlsdorfer Strasse 25g
14778 Jeserig
14778 Jeserig (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR VERMESSUNG DER ZWEIDIMENSIONALEN POTENTIALVERTEILUNG IN CMOS-HALBLEITERBAUELEMENTEN