(19)
(11) EP 1 112 587 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.07.2001  Patentblatt  2001/27

(21) Anmeldenummer: 00949074.9

(22) Anmeldetag:  06.06.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0001/835
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/539 (25.01.2001 Gazette  2001/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 20.07.1999 DE 19933842

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BECKER, Volker
    D-76359 Marxzell (DE)
  • LAERMER, Franz
    D-70437 Stuttgart (DE)
  • SCHILP, Andrea
    D-73525 Schwäbisch Gmünd (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ÄTZEN EINES SUBSTRATES MITTELS EINES INDUKTIV GEKOPPELTEN PLASMAS