(19)
(11) EP 1 113 981 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.07.2001  Patentblatt  2001/28

(21) Anmeldenummer: 99952425.9

(22) Anmeldetag:  17.08.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00, G01L 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/573
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0012/427 (09.03.2000 Gazette  2000/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 31.08.1998 DE 19839606

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • AIGNER, Robert
    D-81675 München (DE)
  • OPPERMANN, Klaus-Günter
    D-83607 Holzkirchen (DE)
  • KAPELS, Hergen
    D-85579 Neubiberg (DE)

(74) Vertreter: Ginzel, Christian 
Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG