(19)

(11)

EP 1 114 472 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 10.08.2000 (43) Veröffentlichungstag: 11.07.2001  Patentblatt  2001/28 (21) Anmeldenummer: 99953539.6 (22) Anmeldetag:  19.08.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 43/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9902/605 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0013/205 (09.03.2000 Gazette  2000/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 01.09.1998 DE 19839671 (71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: SCHELTEN, Jakob D-52428 Jülich (DE) LEHMANN, Ralf D-52248 Jülich (DE) (74) Vertreter: Möbus, Steffen  Kayser & MöbusPatentanwälteLeienfelsstrasse 6 81243 München 81243 München (DE)