(19)
(11) EP 1 115 648 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.07.2001  Patentblatt  2001/29

(21) Anmeldenummer: 99955747.3

(22) Anmeldetag:  18.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 1/00, B81C 1/00, H01L 21/263, H01L 21/20, H01L 31/0296
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/998
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0017/094 (30.03.2000 Gazette  2000/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 23.09.1998 DE 19843675
16.07.1999 DE 19932880

(71) Anmelder:
  • Fascko, Stefan
    52072 Aachen (DE)
  • Kurz, Heinrich
    52076 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • FASCKO, Stefan
    D-52072 Aachen (DE)
  • KURZ, Heinrich
    D-52076 Aachen (DE)
  • KOERDT, Clemens
    F-38000 Grenoble (FR)

(74) Vertreter: Bauer, Wulf, Dr. 
Bayenthalgürtel 15
50968 Köln (Marienburg)
50968 Köln (Marienburg) (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON NANOMETERSTRUKTUREN AUF HALBLEITEROBERFLÄCHEN