(19)

(11)

EP 1 116 263 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.11.2000 (43) Veröffentlichungstag: 18.07.2001  Patentblatt  2001/29 (21) Anmeldenummer: 99969531.5 (22) Anmeldetag:  10.09.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/285, H01L 29/45, H01L 21/329, H01L 29/872 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9902/875 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0017/919 (30.03.2000 Gazette  2000/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 23.09.1998 DE 19843648 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: RUPP, Roland D-91207 Lauf (DE) WIEDENHOFER, Arno D-91058 Erlangen (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al Patentanwalt,Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)