(19)
(11) EP 1 116 266 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.07.2001  Patentblatt  2001/29

(21) Anmeldenummer: 99953667.5

(22) Anmeldetag:  01.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9902/754
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0017/921 (30.03.2000 Gazette  2000/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 18.09.1998 DE 19842816

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BRUCHHAUS, Rainer
    D-80997 München (DE)
  • PITZER, Dana
    D-85716 Unterschleissheim (DE)
  • PRIMIG, Robert
    D-81541 München (DE)
  • SCHREITER, Matthias
    D-81379 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SELBSTPOLARISIERTER FERROELEKTRISCHER SCHICHTEN, INSBESONDERE PZT-SCHICHTEN, MIT RHOMBOEDRISCHER KRISTALLSTRUKTUR