(19)
(11) EP 1 116 270 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.07.2001  Patentblatt  2001/29

(21) Anmeldenummer: 99955764.8

(22) Anmeldetag:  22.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8242, H01L 21/8246, H01L 21/8239, H01L 27/108, H01L 27/112
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/031
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0019/529 (06.04.2000 Gazette  2000/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 25.09.1998 DE 19844083

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • RÖSNER, Wolfgang
    D-81739 München (DE)
  • HOFMANN, Franz
    D-80995 München (DE)
  • BERTAGNOLLI, Emmerich
    A-1190 Wien (AT)
  • GÖBEL, Bernd
    D-81735 München (DE)

(74) Vertreter: Barth, Stephan Manuel, Dr. 
Reinhard-Skuhra-Weise & Partner Gbr,PatentanwälteFriedrichstrasse 31
80801 München
80801 München (DE)

   


(54) INTEGRIERTE SCHALTUNGSANORDNUNG MIT VERTIKALTRANSISTOREN UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG