(19)

(11)

EP 1 116 272 A1

(12)

(43) Date de publication: 18.07.2001  Bulletin  2001/29 (21) Numéro de dépôt: 99929441.6 (22) Date de dépôt:  08.07.1999

(51) Int. Cl.7: H01L 23/528 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR9901/661 (87) Numéro de publication internationale: WO 0003/438 (20.01.2000 Gazette  2000/03)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 09.07.1998 FR 9808820 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BUJ, Christel F-38000 Grenoble (FR) GIFFARD, Benoît F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Des Termes, Monique et al Société Brevatome3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)