(19)
(11) EP 1 116 283 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.07.2001  Patentblatt  2001/29

(21) Anmeldenummer: 99969535.6

(22) Anmeldetag:  18.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/09
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9906/921
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0017/944 (30.03.2000 Gazette  2000/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 21.09.1998 DE 19843004
19.06.1999 DE 19928140

(71) Anmelder: Richter, Hans
86163 Augsburg (DE)

(72) Erfinder:
  • Richter, Hans
    86163 Augsburg (DE)

(74) Vertreter: Gallo, Wolfgang, Dipl.-Ing. (FH) 
Patentanwalt,Ludwigstrasse 26
86152 Augsburg
86152 Augsburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR KOMPENSATION VON SCHALLWELLEN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS