OBERFLÄCHENBESCHICHTUNG, KÖRNIGE MISCHUNG ZUR ZUFUHR ZU EINER PLASMABESCHICHTUNG UND OBERFLÄCHENBESCHICHTUNGSVERFAHREN - Patent 1117849

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EP 1 117 849 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	25.07.2001 Patentblatt 2001/30

(21)	Anmeldenummer: 99952333.5

(22)	Anmeldetag: 07.08.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: C23C 4/06

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9902/476

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0009/774 (24.02.2000 Gazette 2000/08)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorität:

12.08.1998 DE 19836392

(71)	Anmelder: Wiesener, Wolfgang
	45134 Essen (DE)

(72)	Erfinder:
	Wiesener, Wolfgang 45134 Essen (DE)

(74)	Vertreter: Castell, Klaus, Dr.-Ing.
	PatentanwaltskanzleiLiermann - CastellGutenbergstrasse 12 52349 Düren 52349 Düren (DE)

(54)	OBERFLÄCHENBESCHICHTUNG, KÖRNIGE MISCHUNG ZUR ZUFUHR ZU EINER PLASMABESCHICHTUNG UND OBERFLÄCHENBESCHICHTUNGSVERFAHREN