(19)

(11)

EP 1 121 718 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.08.2001  Patentblatt  2001/32 (21) Anmeldenummer: 99970210.3 (22) Anmeldetag:  28.09.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/142, H01L 31/18 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/103 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0021/138 (13.04.2000 Gazette  2000/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 05.10.1998 DE 19845658 (71) Anmelder: Astrium GmbH 81663 München (DE)	(72) Erfinder: MÜLLER, Rainer D-85579 Neubiberg (DE) (74) Vertreter: Asch, Konrad, Dipl.-Ing. et al c/o EADS Deutschland GmbH,Intellectual Property Rights LG-PM,Willi-Messerschmitt-Strasse 85521 Ottobrunn 85521 Ottobrunn (DE)