(19)
(11) EP 1 122 029 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.10.2003  Patentblatt  2003/44

(43) Veröffentlichungstag A2:
08.08.2001  Patentblatt  2001/32

(21) Anmeldenummer: 01100721.8

(22) Anmeldetag:  12.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B24B 45/00, B24D 5/16, B24D 5/06, B24B 9/14, B24B 19/03
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 15.01.2000 DE 10001480

(71) Anmelder:
  • Schott Glas
    55122 Mainz (DE)
  • CARL-ZEISS-STIFTUNG
    55122 Mainz (DE)

    GB IE 

(72) Erfinder:
  • Vos, Markus, Dr.
    55218 Ingelheim (DE)
  • Pallhorn, Sven
    55131 Mainz (DE)
  • Julius, Patrick W.
    55118 Mainz (DE)
  • Kessler, Thomsa Dr
    55218 Ingelheim (DE)

(74) Vertreter: Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche 
Patentanwälte Postfach 46 60
65036 Wiesbaden
65036 Wiesbaden (DE)

   


(54) Verfahren zum Herstellen eines hochpräzisen Mehrscheiben-Schleifmoduls und nach diesem Verfahren hergestelltes Mehrscheiben-Schleifmodul


(57) Derartige hochpräzise Mehrscheiben-Schleifmodule besitzen typischerweise mehrere, auf einer gemeinsamen Spindel (1), hochpräzise durch Distanzringe (10) axial beabstandet zueinander, montierte Präzisions-Schleifscheiben (7) zum gleichzeitigen Ausschleifen von parallel zueinander verlaufenden Mikrostrukturen in einem Werkstück.
Die Schleifscheiben (7) müssen dabei einen hochpräzisen gegenseitigen Abstand mit sehr kleinen Toleranzen aufweisen, was beim Stand der Technik nur mit großem Aufwand zu erzielen ist.
Dieser Aufwand kann, unter Erzielung weiterer Vorteile, deutlich vermindert werden, indem der Schleifmodul (13) auf einer Ultrapräzisions-Drehmaschine montiert wird, unter Verwendung von in üblicher Werkstattfertigungsqualität bearbeiteten Distanzringen (10), in die mittels des Meßsystems der Drehmaschine Montage-Absätze (11) für die Aufnahme der Schleifscheiben (7) im hochpräzisen Abstand zu einem vorgegebenen axialen Abstands-Refrerenzwert eingedreht werden.






Recherchenbericht