(19)

(11)

EP 1 127 253 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.08.2001  Patentblatt  2001/35 (21) Anmeldenummer: 99960864.9 (22) Anmeldetag:  05.11.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 1/14, G01L 3/14, G01L 9/00, G01L 3/10, G01D 5/241 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/551 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0028/293 (18.05.2000 Gazette  2000/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 06.11.1998 DE 19851314 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: DOEMENS, Günter D-83607 Holzkirchen (DE) GILCH, Markus D-85419 Mauern (DE)