(19)
(11) EP 1 127 366 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.11.2005  Patentblatt  2005/45

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
20.07.2005  Patentblatt  2005/29

(21) Anmeldenummer: 99947272.3

(22) Anmeldetag:  01.09.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1999/006397
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2000/016374 (23.03.2000 Gazette  2000/12)

(54)

VORRICHTUNG ZUR PLASMATECHNISCHEN ABSCHEIDUNG VON POLYKRISTALLINEM DIAMANT

DEVICE FOR THE PLASMA DEPOSITION OF A POLYCRYSTALLINE DIAMOND

DISPOSITIF DE SEPARATION AU PLASMA D'UN DIAMANT POLYCRISTALLIN

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 12.09.1998 DE 19841777

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
29.08.2001  Patentblatt  2001/35

(73) Patentinhaber:
  • Unaxis Deutschland Holding GmbH
    85609 Aschheim/ Dornach (DE)
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LIEHR, Michael
    D-36325 Feldatal (DE)
  • SCHÄFER, Lothar
    D-38527 Meine (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 0 823 493
DE-C- 19 503 205
 DE-A- 19 628 949
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).