(19)

(11)

EP 1 129 231 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.06.2000 (43) Veröffentlichungstag: 05.09.2001  Patentblatt  2001/36 (21) Anmeldenummer: 99959190.2 (22) Anmeldetag:  30.09.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/02, C23C 28/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/236 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0018/977 (06.04.2000 Gazette  2000/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 30.09.1998 DE 19845803 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: WOLKERS, Lutz D-14169 Berlin (DE)