(19)

(11)

EP 1 129 475 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.09.2001  Patentblatt  2001/36 (21) Anmeldenummer: 99970787.0 (22) Anmeldetag:  16.10.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/362 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0024/043 (27.04.2000 Gazette  2000/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 21.10.1998 DE 19849471 (71) Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt an der Oder (DE)	(72) Erfinder: MEHR, Wolfgang D-15754 Friedersdorf (DE) (74) Vertreter: Heitsch, Wolfgang et al Göhlsdorfer Strasse 25g 14778 Jeserig 14778 Jeserig (DE)