(19)
(11) EP 1 129 476 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.09.2001  Patentblatt  2001/36

(21) Anmeldenummer: 99942864.2

(22) Anmeldetag:  13.08.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/266, H01L 21/74, H01L 21/8226, H01L 21/761, H01L 31/11
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9905/942
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0019/503 (06.04.2000 Gazette  2000/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 29.09.1998 DE 19844531

(71) Anmelder:
  • Grützediek, Ursula
    55130 Mainz (DE)
  • Scheerer, Jutta
    55130 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • GRÜTZEDIEK, Hartmut
    D-55130 Mainz (DE)
  • SCHEERER, Joachim
    D-55130 Mainz (DE)

(74) Vertreter: Luderschmidt, Schüler & Partner GbR 
Patentanwälte,Postfach 3929
65029 Wiesbaden
65029 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRANSISTOREN