| (19) |
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(11) |
EP 1 130 269 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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30.10.2002 Patentblatt 2002/44 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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05.09.2001 Patentblatt 2001/36 |
| (22) |
Anmeldetag: 06.02.2001 |
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
02.03.2000 DE 10010371
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| (71) |
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH |
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35614 Asslar (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Fahrenbach, Peter
35619 Braunfels (DE)
- Blecker, Armin
35614 Asslar (DE)
- Bremer, Wolfgang
35444 Biebertal (DE)
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(57) Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (4) und Statorscheiben
(6), wobei die Statorscheiben durch Distanzringen (8) auf Abstand gehalten werden
und mit diesen zusammen das Statorpaket bilden. Zwischen mindestens zwei der Distanzringe
(8) befindet sich jeweils ein elastisch verformbares metallisches Element (16). In
mindestens einem Distanzring (12) kann eine axiale Nut (14) eingearbeitet sein, in
welcher sich das elastisch verformbare Element (16) befindet.