(19)

(11)

EP 1 133 799 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.09.2001  Patentblatt  2001/38 (21) Anmeldenummer: 99958114.3 (22) Anmeldetag:  23.11.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/0224, H01L 31/18, H01L 31/068 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9909/049 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0035/024 (15.06.2000 Gazette  2000/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 25.11.1998 DE 19854269 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: LÜDEMANN, Ralf D-79100 Freiburg (DE) (74) Vertreter: Rösler, Uwe, Dipl.-Phys.  Rösler Patentanwaltskanzlei,Landsberger Strasse 480a 81241 München 81241 München (DE)