(19)

(11)

EP 1 135 543 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.09.2001  Patentblatt  2001/39 (21) Anmeldenummer: 99969750.1 (22) Anmeldetag:  21.09.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 22/78 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9906/978 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0018/983 (06.04.2000 Gazette  2000/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 28.09.1998 DE 19844391 (71) Anmelder: Chemetall GmbH 60487 Frankfurt (DE)	(72) Erfinder: NITTEL, Klaus-Dieter D-60431 Frankfurt am Main (DE) RAU, Uwe D-61462 Königstein (DE) (74) Vertreter: Scherzberg, Andreas, Dr.  Dynamit Nobel AGAbt. Patente und Dokumentation 53839 Troisdorf 53839 Troisdorf (DE)