(19)

(11)

EP 1 138 064 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.10.2001  Patentblatt  2001/40 (21) Anmeldenummer: 99962057.8 (22) Anmeldetag:  18.11.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/285 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/683 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0030/166 (25.05.2000 Gazette  2000/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 18.11.1998 DE 19853023 (71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: MANTL, Siegfried D-52428 Jülich (DE) KAPPIUS, Ludger D-52428 Jülich (DE) ZHAO, Qing-Tai D-52428 Jülich (DE) ANTONS, Armin D-52428 Jülich (DE)