(19)
(11) EP 1 138 065 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.10.2001  Patentblatt  2001/40

(21) Anmeldenummer: 98962218.8

(22) Anmeldetag:  06.11.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/3105, H01L 21/3205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9803/249
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0028/584 (18.05.2000 Gazette  2000/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HARTNER, Walter
    D-81829 München (DE)
  • HINTERMAIER, Frank
    D-81373 München (DE)
  • SCHINDLER, Günther
    D-80802 München (DE)
  • WEINRICH, Volker
    D-81549 München (DE)

(74) Vertreter: Ginzel, Christian 
Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTURIERTEN METALLOXIDHALTIGEN SCHICHT