(19)

(11)

EP 1 138 090 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.10.2001  Patentblatt  2001/40 (21) Anmeldenummer: 99962081.8 (22) Anmeldetag:  26.11.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9903/759 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0033/396 (08.06.2000 Gazette  2000/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 27.11.1998 DE 19854938 11.02.1999 DE 19905694 (71) Anmelder: Meissner, Dieter 21514 Büchen (DE)	(72) Erfinder: MEISSNER, Dieter D-52428 Jülich (DE) ROSTALSKI, Jörn D-52441 Linnich (DE) (74) Vertreter: Dungler, Karin et al c/o PatentanwälteDipl.-Ing. Manfred Beer undDipl.-Ing. Reinhard HehenbergerLindengasse 8 1070 Wien 1070 Wien (AT)