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(11) |
EP 1 138 654 B9 |
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KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand |
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Korrekturinformation: |
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Korrigierte Fassung Nr. 1 (W1 B1) |
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Korrekturen, siehe Beschreibung |
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Corrigendum ausgegeben am: |
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04.03.2009 Patentblatt 2009/10 |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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14.05.2008 Patentblatt 2008/20 |
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Anmeldetag: 31.03.2000 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC):
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Verfahren zum Herstellen eines kohlenstofffaserverstärkten keramischen Bauteils
mit einer festen keramischen und porenfreien Beschichtung
Process for Making a carbon fibre reinforced ceramic element with a hard ceramic and
pore-free coating
Procédé de fabrication d'un élément en céramique renforcé par fibres de carbone avec
un revêtement en céramique dur et sans pore.
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Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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04.10.2001 Patentblatt 2001/40 |
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Patentinhaber: ECM Ingenieur-Unternehmen für Energie-und
Umwelttechnik GmbH |
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80339 München (DE) |
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Erfinder: |
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- Krödel, Matthias
85521 Ottobrunn (DE)
- Rosenlöcher, Jens
81371 München (DE)
- Goedtke, Peter
81667 München (DE)
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| (74) |
Vertreter: Meissner, Bolte & Partner |
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Anwaltssozietät GbR
Postfach 86 06 24 81633 München 81633 München (DE) |
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Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 032 097 DE-A- 4 329 551
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EP-A- 0 558 991
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils nach den Anspruch
1.
[0002] Die
EP 0 032 097 A1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer Siliziumcarbidstruktur. Dort wird von
einer bestehenden Kohlenstoffstruktur ausgegangen, die während eines Durchgangs durch
ein Bad imprägniert wird, das ein flüchtiges Harz, Siliziumpulver und ein Lösungsmittel
aufweist. Im Verlauf einer thermischen Behandlung wird das flüchtige Harz vollständig
entfernt, während das Siliziumpulver mit dem Kohlenstoff zu Siliziumcarbid reagiert.
Ein Restkohlenstöffgehalt kann durch eine Änderung der Imprägnier-Bad-Zusammensetzung
eingestellt werden. Das dortige Verfahren ist zwar geeignet, eine Siliziumcarbidstruktur
als Ganzes zu erzeugen, jedoch ist es mit dortigem Verfahren unmöglich, auf eine bestehende
Siliziumcarbidstruktur nachträglich eine Beschichtung aufzubringen, die hochfest mit
der Siliziumcarbidstruktur verbunden ist und mit dieser einheitliche Werkstoffeigenschaften
aufweist.
[0003] Ein weiteres Verfahren zur Herstellung eines Siliziumcarbidkörpers ist in der
US 4,514,346 beschrieben. Dort wird eine Mischung aus Siliziumpulver, einem Harz und Kohlenstoff
als Ausgangsmaterial verwendet und zu einem Formkörper verarbeitet. Der dortige Formkörper
weist jedoch, insbesondere an seinen äußeren Oberflächen eine Porosität auf und ist
somit für optische Anwendungen nicht brauchbar.
[0004] Aus
DE 4 243 864.0-45 ist bekannt, dass zur Herstellung von Formkörpern aus reaktionsgebundenem, mit Silizium
infiltriertem Siliziumcarbid ein wässriger Schlicker aus Siliziumcarbid, kolloidalem
Kohlenstoff, Hilfsstoffen und einem flüssigen Medium verwendet wird.
[0005] Aus
DE 3 018 785 C2 ist bekannt, dass eine Sintermasse, welche aus dem gleichen Werkstoff ist wie das
Trägermaterial und sich andererseits aus einer Körnung, kleinen Röhrchen, Plättchen
und Stäbchen oder aus einer Mischung daraus zusammensetzt, zur Herstellung von Leichtgewichtsspiegeln
aus Glas verwendet wird.
[0006] Aus
DE 4 111 190 A1 ist bekannt, dass Kohlenstoffkörper mit einer oberflächlichen Beschichtung aus SiSiC
beschichtet werden. Im Wesentlichen handelt es sich hierbei um die Beschichtung von
Graphit mit Siliziumcarbid. Die Schicht wird mit flüssigem Silizium infiltriert, wobei
durch die oberflächliche Reaktion des Kohlenstoffgrundkörpers mit Si zu SiC ein fester
Materialverbund entsteht. Die aufgetragene und infiltrierte SiSiC-Schicht kann durch
entsprechende Bearbeitungsschritte behandelt werden.
[0007] Aus
DE 3 819 011 A1 ist bekannt, dass auf einem kohlefaserverstärktem, kohlenstoffhaltigein Werkstoff
oder einem glasimprägniertem, kohlefaserverstärktem, kohlenstoffhaltigem Werkstoff
auf der Oberfläche eine Glasschicht aufgebracht wird, die entsprechend bearbeitet
wird.
[0008] Aus
DE 4 329 551 A1 ist bekannt, dass faserverstärkte Keramiken wie C/C, C/SiC und SiC/SiC als Trägermaterial
verwendet werden. Die hochgenauen Oberflächen werden mittels physikalischer oder chemischer
Gasphasenabscheidung oder thermischer Spritztechnik oder Elektrolyse anschließend
hergestellt.
[0009] Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein keramisches Beschichtungssystem und
einen damit beschichteten Körper zur Verfügung zu stellen, wobei das Beschichtungssystem
das in seinen Werkstoffeigenschaften an ein zu beschichtendes keramisches C/SiC-Substrat
genau angepasst ist, so dass das mit dem Beschichtungssystem beschichtete Substrat
auch unter extremen Temperaturbedingungen bzw. -schwankungen fest mit der aufgebrachten
Beschichtung verbunden ist und zwischen Beschichtung und Substrat keine Inhomogenitäten
auftreten, die unweigerlich zu einer Rissbildung führen würden.
[0010] Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 gelöst.
[0011] Die Herstellung der Suspension für die keramische Beschichtung erfolgt nach den im
Folgenden dargestellten Einzelschritten.
[0012] Unter Zugabe des Bindemittels wird das Siliziumcarbidpulver vermischt. Als Bindemittel
werden Phenolharze, Polysiloxane oder Phosphate verwendet. Das verwendete Siliziumcarbidpulver
weist eine annähernd lückenlose kontinuierliche Korngrößenverteilung mit einer maximalen
Korngröße von weniger als 50 µm auf. Die Viskosität des 2-StoffGemisches aus Siliziumcarbidpulver
und Bindemittel wird auf eine ölige Konsistenz durch die Zugabe des Lösungsmittels
eingestellt. Vorzugsweise wird als Lösungsmittel ein Gemisch aus Isopropylalkohol,
Butylacetat, Butandiol und Polyethylenglykol verwendet. Dieses ölige Gemisch wird
mittels eines handelsüblichen Homogenisators dispergiert. Nach der Homogenisierungszeit
wird der Kohlenstoff, vorzugsweise in Form von Feinstgraphit oder Ruß, zugegeben.
Nach dieser Zugabe wird das Stoffsystem nun wiederum in dem Homogenisator suspendiert.
Als letztes wird das metallische Pulver, vorzugsweise metallisches Silizium zugegeben
und anschließend wird das gesamte Stoffsystem nochmals homogenisiert, wobei metallisches
Siliziumpulver mit einer Korngröße von weniger als 45 µm, vorzugsweise von weniger
als 5 µm verwendet wird. Während des gesamten Homogenisierungsprozesses wird stets
Lösungsmittel zugegeben, um die für die spätere Anwendung notwendige Viskosität einzustellen.
Die Viskosität richtet sich im Wesentlichen nach dem
[0013] Beschichtungsverfahren, mit welchem das Substrat später beschichtet werden soll.
Die Viskosität richtet sich im Wesentlichen nach dem Beschichtungsverfahren, mit welchem
das Substrat später beschichtet werden soll. Während des Homogenlsierungsprozesses
wird die Viskosität mit einem handelsüblichen Viskosimeter oder Auslaufbecher kontrolliert.
[0014] Bevor das C/SiC-Substrat mit dem vorgenannten Stoffsystem beschichtet werden kann,
muss dieses noch entsprechend vorbereitet werden. In der Regel besitzen die Bauteile
nach dem Sillzierprozess, in dem die Kohlenstoffmatrix mit flüssigem Silizium infiltriert
wird, noch Restsiliziumanbackungen auf den Oberflächen. Diese müssen in einem ersten
Schritt, vorzugsweise mit Hilfe von Strahlmitteln, entfernt werden. Anschließend werden
die zu beschichtenden Flächen mittels Schlelfwerkzeugen planparallel geschliffen,
wobei eine Rautiefe von ≤ 10 µm anzustreben ist.
[0015] Nachdem das Substrat nun in der vorgenannten Weise für die Beschichtung vorbereitet
ist, wird das Stoffsystem auf das C/SiC-Substrat aufgebracht. Dieses Aufbringen erfolgt
vorzugsweise mit Hilfe von Lackierwerkzeugen mit permanentem Rührbecher, um einer
Entmischung der Suspension entgegenzuwirken. Eine derartige Entmischung würde das
gesamte Stoffsystem für eine Beschichtung dahingehend unbrauchbar machen, dass es
zu Inhomogenitäten an einzelnen Stellen zwischen der Beschichtung und dem Substrat
bzw. zu Fehlstellen in der Beschichtung kommen würde.
[0016] Die Beschichtung erfolgt in mehreren Einzelschritten, d. h. die gesamte Beschichtung
wird in mehreren Schichten aufgetragen. Hierbei werden Einzelschichten bis zu 0,3
mm erreicht. Nach jedem Beschichtungsvorgang muss eine Trocknung der jeweiligen Schicht
vorgenommen werden. Hierbei richtet sich die Trocknungszeit im Wesentlichen nach der
Schichtdicke und nach der Anzahl der bereits aufgetragenen Schichten. Die Trocknungszeit
zwischen den einzelnen Beschichtungen reicht von 5 Minuten bis 30 Minuten. Die Trocknungstemperatur
beträgt zwischen 50 und 60 ° C. Diese Prozedur muss sehr genau eingehalten werden,
da sonst die Schicht auf Grund des hohen Füllstoffanteils zu Blasen und/oder Rissen
neigt.
[0017] Sobald die Beschichtung gemäß den vorgenannten Arbeitsschritten fertiggestellt ist,
wird das beschichtete Substrat in einem Thermalprozess unter Vakuum oder Schutzgas
auf Temperaturen oberhalb 1.600 ° C aufgeheizt.
[0018] Bei diesem Thermalprozess kommt es auf Grund der Reaktionsaffinität zwischen Silizium
und Kohlenstoff zur Bildung von Siliziumcarbid, größtenteils zu β-SiC, wobei der in
der Beschichtung vorhandene Kohlenstoff teilweise mit dem in der aufgetragenen Schicht
vorhandenem Silizium und/oder teilweise mit dem im Substrat vorhandenem Restsilizium
in der Matrix zu Siliziumcarbid reagiert. Durch einsetzende Diffusionsprozesse zwischen
dem Silizium im Substrat und dem Kohlenstoff in der Beschichtung kommt es zu einer
Kontaktreaktion durch Bildung von Siliziumcarbid, wodurch es zu einer festen Anbindung
der Beschichtung an das Substrat kommt. Durch das in der Beschichtung vorhandene Siliziumcarbid
wird gewährleistet, dass sich während des Thermalprozesses eine sehr dichte Oberflächenschicht
ausbildet, wobei auf Grund der Porengrößenverteilung eine maximal dichte Kornverteilung
erzielt werden kann. Durch eine Auswahl des unter Patentanspruch 1 beschriebenen Stoffsystems
kann während des Thermalprozesses erreicht werden, dass die sich ausbildende Schicht
keine Porosität weder offene noch geschlossene Porosität, ausbildet und die Schicht
keine Fehlstellen aufweist. Nach Ende dieses Thermalprozesses kann das beschichtete
Substrat mit für optische Anwendungen handelsüblichen Bearbeitungsmaschinen poliert
werden. Diese Beschichtung zeichnet sich hier vor allem auch durch ihre sehr hohe
Härte aus, was dazu führt, dass für das Polieren ausschließlich Diamantwerkzeuge verwendet
werden können.
[0019] Die Vorteile des unter Patentanspruch 1 angeführten Beschichtungsverfahrens von C/SiC-Bauteilen,
liegt im Gegensatz zu den bisher bekannten Beschichtungsverfahren in den folgenden
Punkten:
- 1. Das Beschichtungssystem kann in seinen Materialeigenschaften durch Variation der
Zusammensetzung des Stoffsystems an die Materialeigenschaften des zu beschichtenden
Substrats angepasst werden.
- 2. Durch die nahezu gleiche Zusammensetzung der Beschichtung wie des zu beschichtenden
Substrats kann durch Auftragen der Beschichtung die Reparatur bzw. die Versiegelung
von Oberflächen erfolgen, ohne dass es zu Beeinträchtigungen der Materialqualität
des Substrats kommt.
- 3. Durch dieses Beschichtungsverfahren können auch großflächige Bauteile bis zu einem
Durchmesser von 2,5 m gleichmäßig beschichtet werden.
- 4. Durch die Verwendung von handelsüblichen Lackiersystemen ist dieses Beschichtungsverfahren
im Gegensatz zu den bisher bekannten Beschichtungen für derartige Bauteile wie CVD-Verfahren
oder Sputtern wesentlich kostengünstiger und dadurch wirtschaftlicher einzusetzen.
- 5. Die Schichtdicke kann bei diesem Verfahren wesentlich größer werden als bei den
bisher bekannten Beschichtungsverfahren. Es können Schichtdicken von bis zu 1 mm gleichmäßig
und reproduzierbar realisiert werden.
- 6. Die Beschichtung von Substraten kann je nach Anwendungsfall und Bauteilanforderungen
auch gezielt nur partiell aufgebracht werden. Insbesondere ist dieses partielle Aufbringen
von Beschichtungen auf Substraten im Gegensatz zu den bisher bekannten Verfahren deutlich
kostengünstiger und auch schneller zu realisieren.
1. Verfahren zum Herstellen eines kohlenstofffaserverstärkten SiC-keramischen Bauteils
mit einer festen keramischen und porenfreien Beschichtung, die nach dem Auftragen
eine sehr dichte Packung aufweist, wobei folgende Schritte durchgeführt werden:
- zur Verfügungstellen des kohlenstofffaserverstärkten keramischen Bauteils;
- Herstellung einer Suspension mittels folgender Schritte:
- Herstellen eines Gemischs durch Zugabe von Siliziumcarbidpulver, Bindemittel, Lösungsmittel
und Kohlenstoff und gegebenenfalls metallischem Pulver;
- Homogenisieren und Einstellen einer Viskosität des Gemischs durch Zugabe von Lösungsmittel;
- Aufbringen der Suspension auf das kohlenstofffaserverstärkte keramische Bauteil;
- Trocknen der aufgebrachten Suspension; und
- Aufheizen des Bauteils mit der getrockneten Suspension auf Temperaturen oberhalb
1.600 °C unter Vakuum oder Schutzgas.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
als Bindemittel Phenolharze, Polysiloxane oder Phosphate verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
als Lösungsmittel ein Gemisch aus Isopropylalkohol, Butylacetat, Butandiol und Polyethylenglykol
verwendet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
metallisches Siliziumpulver mit einer Korngröße < 45 µm, vorzugsweise 5 µm verwendet
wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Siliziumcarbidpulver mit einer annährend lückenlosen kontinuierlichen Korngrößenverteilung
bei einer maximalen Korngröße von < 50 µm verwendet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass
Kohlenstoff in Form von Feinstgraphit und/oder Ruß verwendet wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Suspension mit Hilfe eines Spritzlackierwerkzeuges mit permanenter Rührung oder
durch Rakeln unter Ausbildung von zumindest einer Schicht auf eine Oberfläche des
kohlenstofffaserverstärkten keramischen Bauteils aufgetragen wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Suspension schichtweise, je nach Anwendung mehrmals nacheinander aufgetragen wird,
wobei zwischen einzelnen Auftragschritten ein Trocknungsprozess durchgeführt wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die aufgetragene Schicht in einem Thermalprozess bei Temperaturen oberhalb 1600°C
unter Vakuum oder Schutzgas aufgeheizt wird und sich durch Reaktion zwischen metallischem
Silizium entweder aus dem Substrat und/oder der Suspension und dem vorhandenen Kohlenstoff
Siliziumcarbid ausbildet und eine homogene geschlossene Schicht bildet, die durch
das vorhandene SIC-Pulver verdichtet wird.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
sich die keramische Schicht während des Thermalprozesses über Diffusionsprozesse mit
Silizium aus dem keramischen Substrat anreichert, wobei das Silizium mit dem vorhandenen
Kohlenstoff zu Siliziumcarbid reagiert wodurch eine feste Verbindung zwischen der
Schicht und dem keramischen Substrat erzeugt wird.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die keramische Beschichtung nach dem Thermalprozess keine geschlossene oder offene
Porosität aufweist und mit geeignetem Polierwerkzeug bis auf Rauhtiefen < 1 µm bearbeitet
werden kann.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
als zu beschichtendes keramisches Substrat kohlenstofffaserverstärktes Siliziumcarbid
(C/SiC) verwendet wird, wobei im Substrat vorhandenes Restsilizium als Spendersilizium
für die keramische Schicht verwendet wird.
1. Method of manufacturing a carbon fibre reinforced SiC-ceramic component with a rigid
ceramic, pore-free coating, which displays a very dense packing after coating, the
following stages being carried out:
- making available the carbon fibre reinforced ceramic component;
- preparing a suspension by means of the following stages:
- preparing a mixture by adding silicon carbide powder, binding agent, solvent and
carbon and optionally metallic powder;
- homogenising and adjusting viscosity of the mixture by adding solvent;
- applying the suspension to the carbon fibre reinforced ceramic component;
- drying the suspension applied; and
- heating the component with the dried suspension to temperatures above 1,600 °C under
vacuum or inert gas.
2. Method according to claim 1,
characterised in that
phenol resins, polysiloxanes or phosphates are used as binding agents.
3. Method according to claim 1 or 2,
characterised in that
a mixture of isopropyl alcohol, butyl acetate, butanediol and polyethylene glycol
is used as solvent.
4. Method according to any of claims 1 to 3,
characterised in that
metallic silicon powder with a particle size < 45 µm, preferably 5 µm, is used.
5. Method according to any of claims 1 to 4,
characterised in that
the silicon carbide powder used has an approximately gap-free, continuous particle
size distribution with a maximum particle size < 50 µm.
6. Method according to any of claims 1 to 5,
characterised in that
carbon in the form of ultra-fine graphite and/or soot is used.
7. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
the suspension is applied to the surface of the carbon fibre reinforced ceramic component
with the aid of a spray paint tool under permanent agitation or using doctor blades,
forming at least one layer.
8. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
the suspension is applied in layers, depending on the application in several, subsequent
layers, a drying process being carried out between individual application stages.
9. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
the applied layer is heated in a thermal process at temperatures above 1600 °C under
vacuum or inert gas and forms silicon carbide by reaction between metallic silicon
either from the substrate and/or the suspension and the carbon present and produces
a homogeneous sealed layer, which is compacted by the SiC powder present.
10. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
the ceramic layer builds up during the thermal process via diffusion processes with
silicon from the ceramic substrate, the silicon reacting with the carbon present to
form silicon carbide, a strong bond between the layer and the ceramic substrate being
created.
11. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
the ceramic coating according to the thermal process displays no enclosed or open
porosity and can be worked with a suitable polishing tool to surface roughnesses of
< 1 µm.
12. Method according to any of the afore-mentioned claims,
characterised in that
carbon fibre reinforced silicon carbide (C/SiC) is used as the ceramic substrate to
be coated, residual silicon present in the substrate being used as donor silicon for
the ceramic layer.
1. Procédé pour la fabrication d'un composant céramique SiC renforcé avec des fibres
de carbone, comportant un revêtement céramique résistant et sans pores qui présente
après l'application un compactage très dense, dans lequel on effectue les étapes suivantes
:
- fourniture du composant céramique renforcé avec des fibres de carbone ;
- préparation d'une suspension au moyen des étapes suivantes :
- préparation d'un mélange par addition de poudre de carbure de silicium, liant, solvant
et carbone et éventuellement de poudre métallique ;
- homogénéisation et ajustement de la viscosité du mélange par addition de solvant
;
- application de la suspension sur le composant céramique renforcé avec des fibres
;
- séchage de la suspension appliquée ; et
- chauffage du composant comportant la suspension séchée, à des températures supérieures
à 1 600 °C, sous vide ou gaz protecteur.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on utilise comme liant des résines phénoliques, des polysiloxanes ou des phosphates.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'on utilise comme solvant un mélange d'alcool isopropylique, acétate de butyle, butanediol
et polyéthylèneglycol.
4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on utilise une poudre de silicium métallique ayant une taille de grain < 45 µm, de
préférence 5 µm.
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'on utilise la poudre de carbure de silicium ayant une distribution granulométrique
continue à peu près sans lacune, avec une taille maximale de grain de < 50 µm.
6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'on utilise du carbone sous forme de graphite très fin et/ou de noir de carbone.
7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la suspension est appliquée à l'aide d'un outil de pistolage à agitation permanente
ou par enduction à la racle avec formation d'au moins une couche sur une surface du
composant céramique renforcé avec des fibres de carbone.
8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la suspension est appliquée plusieurs fois successivement par couches, selon l'utilisation,
un processus de séchage étant effectué entre les étapes individuelles d'application.
9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche appliquée est chauffée, dans un processus thermique, à des températures
supérieures à 1 600 °C, sous vide ou gaz protecteur et il se forme, par réaction entre
du silicium métallique provenant soit du substrat soit/et de la suspension et le carbone
présent, du carbure de silicium et une couche continue homogène qui est compactée
par la poudre de SCi présente.
10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que pendant le processus thermique la couche céramique s'enrichit en silicium provenant
du substrat céramique, le silicium réagissant avec le carbone présent pour donner
du carbure de silicium, de sorte qu'un assemblage solide entre la couche et le substrat
céramique est produit.
11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le revêtement céramique ne présente après le processus thermique aucune porosité
ouverte ou fermée et peut être usiné jusqu'à des profondeurs de rugosité < 1 µm au
moyen d'un outil de polissage approprié.
12. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on utilise en tant que substrat céramique à revêtir du carbure de silicium (C/SiC)
renforcé avec des fibres de carbone, le silicium résiduel présent dans le substrat
étant utilisé en tant que silicium donneur pour la couche céramique.
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