(19)
(11) EP 1 142 000 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.10.2001  Patentblatt  2001/41

(21) Anmeldenummer: 00904837.2

(22) Anmeldetag:  05.01.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, B65G 13/04, B65G 13/02, B65G 13/071
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/044
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0041/220 (13.07.2000 Gazette  2000/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 08.01.1999 DE 19900461

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MELOJER, Walter
    D-01109 Dresden (DE)
  • RAUTER, Gerhard
    D-01109 Dresden (DE)
  • BRÜCKNER, Gerd
    D-01468 Boxdorf (DE)

(74) Vertreter: Hoffmann, Jörg Peter, Dr. Ing. 
Müller & HoffmannPatentanwälteInnere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) TRANSPORTVORRICHTUNG