(19)

(11)

EP 1 142 013 A1

(12)

(43) Date de publication: 10.10.2001  Bulletin  2001/41 (21) Numéro de dépôt: 99947564.3 (22) Date de dépôt:  13.10.1999

(51) Int. Cl.7: H01L 21/762, H01L 21/265 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR9902/476 (87) Numéro de publication internationale: WO 0022/669 (20.04.2000 Gazette  2000/16)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 15.10.1998 FR 9812950 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: ASPAR, Bernard F-38140 Rives (FR) BRUEL, Michel F-38113 Veurey (FR) MORICEAU, Hubert F-38120 Saint Egrève (FR) (74) Mandataire: Brykman, Georges et al c/o Brevalex3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)