(19)
(11) EP 1 142 022 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.08.2000

(43) Veröffentlichungstag:
10.10.2001  Patentblatt  2001/41

(21) Anmeldenummer: 99900058.1

(22) Anmeldetag:  15.10.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/313
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0024/060 (27.04.2000 Gazette  2000/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 21.10.1998 DE 19848596

(71) Anmelder:
  • Sittig, Roland
    38104 Braunschweig (DE)
  • Heinke, Folco
    38108 Braunschweig (DE)

(72) Erfinder:
  • Sittig, Roland
    38104 Braunschweig (DE)
  • Heinke, Folco
    38108 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund, Dipl.-Ing. 
Leonhard - Olgemöller - FrickePatentanwältePostfach 10 09 57
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSCHALTER MIT GLEICHMÄSSIG VERTEILTEN FEINEN STEUERSTRUKTUREN